基(ji)於(yu)壓(ya)電(dian)陶(tao)瓷(ci)驅(qu)動(dong)的(di)大(dai)行(hang)程(cheng)高(gao)精(jing)度(duo)直(zhi)線(xian)位(wei)移(yi)台(tai)，響(xiang)應(ying)速(su)度(duo)快(kuai)，定(ding)位(wei)精(jing)度(duo)可(ke)到(dao)納(na)米(mi)級(ji)。可(ke)接(jie)受(shou)定(ding)製(zhi)服(fu)務(wu)。

Ø  產(chan)品(pin)特(te)點(dian)

行(hang)程(cheng)範(fan)圍(wei)25毫(hao)米(mi)至(zhi)105毫(hao) 米(mi)

負(fu)載(zai)重(chong)達(da)5KG

納(na)米(mi)級(ji)精(jing)度(duo)定(ding)位(wei)

正(zheng)向(xiang)和(hu)反(fan)向(xiang)都(du)可(ke)安(an)裝(zhuang)使(shi)用(yong)

Ø  技(ji)術(zhu)參(shen)數(shuo)

1.開(kai)環(huan)/閉(bi)環(huan)（可(ke)選(xuan)）；

2.開(kai)環(huan)分(fen)辨(bian)率(shuai)：0.1 納(na)米(mi)；

3.閉(bi)環(huan)分(fen)辨(bian)率(shuai)：<10 納(na)米(mi)；

4.速(su)度(duo)：15mm/s；

5.線(xian)性(xing)度(duo)：100nm；

6.重(chong)複(fu)度(duo)：100nm；

7.推(tui)力(li)/拉(la)力(li)：50N（Max）；

8.工(gong)作(zuo)電(dian)壓(ya)：-20V至(zhi)+150V；

9.工(gong)作(zuo)溫(wen)度(duo)：0℃至(zhi)50℃；

10.產(chan)品(pin)材(cai)料(liao)：鋁(lv)，不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)；

11.電(dian)纜(lan)長(zhang)度(duo)： 1.5m；

      12.可(ke)定(ding)製(zhi)移(yi)動(dong)台(tai)麵(mian)及(ji)電(dian)纜(lan)長(zhang)度(duo)

Ø  產(chan)品(pin)特(te)點(dian)